반도체용 특수가스를 생산하는 SK머티리얼즈 영주공장 화재로 유독가스가 담긴 탱크가 폭발하면서 육불하텅스텐(WF6)이 누출됐다. /SK머티리얼즈 홈페이지 갈무리 |
반도체용 특수가스 제조업체서 화재…유독가스 누출
[더팩트ㅣ안옥희 기자] SK머티리얼즈 가스 생산공장 화재로 유독가스가 누출됐다.
13일 오전 6시 36분께 경북 영주시 상줄동 가흥산업단지에 있는 SK머티리얼즈 가스 생산공장에서 발생한 화재로 유독가스가 담긴 탱크가 폭발했다.
이번 사고로 탱크에 있던 화학물질인 육불하텅스텐(WF6) 약 1.8t이 누출됐다. 육불하텅스텐은 물과 만나면 불산으로 변하고 들이마시면 호흡기가 손상될 수 있다.
소방당국은 현장에 출동해 화재를 진화하며 인근 주민 대피 작업을 벌이고 있다. 현재까지 파악된 인명피해는 없는 것으로 알려졌다.
SK머티리얼즈는 LCD와 반도체에 사용하는 육불화텅스텐, 삼불화질소(NF3) 등 반도체와 액정표시장치(LCD)의 제조 공정에 사용되는 특수가스를 주력 생산하는 업체다. 현재 반도체, LCD, 태양전지 등의 제조공정에서 이물질이 묻어 있는 장비를 세척하는데 사용하는 특수가스를 생산한다.
2016년 SK그룹이 반도체 수직계열화의 일환으로 당시 OCI머티리얼즈를 인수한 것이다.