일본 정부가 액체 불화수소에 대한 수출을 허가했다. 지난 7월 이후 처음이다. /삼성전자 제공

일본 정부, 스텔라케미파 대(對)한국 액체 불화수소 수출 요청 첫 허가

[더팩트│최수진 기자] 일본 정부가 액체 불화수소에 대한 수출을 허가했다. 지난 7월 규제 품목으로 확정한 이후 첫 허가 결정이다.

16일 업계에 따르면 일본 정부는 자국 화학소재 제조사 '스텔라케미파'의 대(對)한국 액체 불화수소(불산액) 수출 요청을 허가한다고 통보했다.

일본 측의 규제가 시작된 지 약 4달만의 허가 결정이다. 그간 일본 정부는 기체 형태의 불화수소에 대한 수출만 승인해왔다. 반도체 공정에서 주로 이용하는 것은 액체 불화수소지만 액체 형태의 불화수소는 승인하지 않았다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 제조사는 일본 정부의 규제 발표 이후 액체 불화수소를 주문했으나 서류 부족 등의 이유로 불허가 결정이 나왔다고 알려진 바 있다.

이번 허가 결정은 당시 불허가 결정에 대한 후속 조치로 판단된다. 일본 정부의 수출 심사 기간이 최대 90일인 만큼 이를 넘기지 않기 위해 허가 결정을 내렸다는 분석이다. 불분명한 이유로 수출을 허가하지 않을 경우 세계무역기구(WTO) 분쟁 과정에서 불리하게 작용할 수 있기 때문이다.

아울러 규제 이후 일본 반도체 기업의 3분기 매출과 영업이익이 급감한 데에 따른 일본 정부의 입장 변화로도 해석된다. 스텔라케미파는 글로벌 불화수소 시장에서 점유율 70%를 차지하는 기업이지만 올 3분기 영업이익이 전년 동기 대비 크게 감소했다. 매출은 74억600만 엔(약 784억 원)으로 전년 대비 21% 줄었고, 영업이익은 1억4800만 엔(약 16억 원)으로 88% 급감했다.

일본 정부의 액체 불화수소 허가 결정에 따라 국내 반도체 기업들은 어느 정도 한숨을 돌릴 수 있게 됐다. 실제 불화수소는 웨이퍼를 깎아내는 식각 공정 및 불순물을 제거하는 세정 공정 등 광범위한 영역에서 사용되고 있어 삼성전자와 SK하이닉스 등이 한정적인 재고를 효율적으로 사용하기 위해 회당 사용량을 기존 대비 절반 수준으로 줄이는 방식으로 일본 정부의 규제에 대응한 바 있다.

한편, 일본 정부는 지난 7월 4일 한국을 상대로 플루오린 폴리이미드, 레지스트(감광제), 애칭가스(고순도 불화수소) 등 3종에 대한 수출 규제 결정을 내렸다.

jinny0618@tf.co.kr