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| 삼성전자가 최근 반도체 생산 공정에 사용되던 일본산 불화수소(에칭가스) 일부를 국산 제품으로 대체했다. /더팩트 DB |
반도체 생산라인서 공급선 다변화
[더팩트ㅣ지예은 기자] 삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체한 것으로 확인됐다.
삼성전자는 반도체 생산라인 일부 공정에 일본산 이외의 제품을 투입했으며 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획이라고 지난 3일 밝혔다.
불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재이다. 지난 7월 일본이 불화수소, 포토레지스트, 플루오린 폴리이미드 등 반도체 생산에 필요한 핵심 소재 수출 규제를 강화한 이후 약 두 달 만에 대체재를 찾아 적용했다고 볼 수 있다.
삼성전자는 수출규제 직후부터 일본 불화수소를 대체할 수 있도록 국내외 제품의 테스트를 진행해왔다. 업계는 테스트를 마치고 생산라인에 적용하기까지 최소 3∼6개월의 시간이 소요될 것으로 전망했다. 하지만 예상보다 빠르게 실전 투입이 이뤄졌다.
LG디스플레이도 이미 국산 불화수소를 공정에 투입했으며 삼성디스플레이도 조만간 테스트를 완료할 것으로 알려졌다. SK하이닉스의 경우 아직 대체품을 양산에 투입하지는 않고 있다.
