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| 26일 SK머티리얼즈는 고순도 불화수소 생산을 위한 준비에 착수했다고 밝혔다. /더팩트 DB |
SK머티리얼즈 "고순도 불화수소 생산 위해 설비 투자 진행"
[더팩트ㅣ서민지 기자] SK그룹이 반도체 핵심 소재인 고순도 불화수소(에칭가스)를 국산화하는 작업에 착수했다. 불화수소는 일본의 수출 규제 품목 중 하나로 해외 의존도가 높은 소재를 국산화한다는 데 의미가 있다.
26일 SK머티리얼즈 측은 "고순도 불화수소 생산을 위해 설비 투자를 진행하고 있다"며 "투자 규모 등 구체적인 사항은 정해지지 않았지만, 올해 말이나 늦어도 내년 초 샘플 양산을 목표로 하고 있다"고 말했다.
이어 "사업 다각화를 위해 예전부터 추진하고 있던 부분"이라며 "주력상품인 삼불화질소(NF3)를 통해 불소를 많이 다뤘기 때문에 상당 부분 기술이 축적돼 있어 고순도 불화수소를 제조할 수 있는 기반이 마련돼 있다"고 설명했다.
고순도 불화수소는 반도체 제조 때 불순물을 제거하고 세척하는 데 쓰이는 필수 소재다. 우리나라는 불화수소 41.9%를 일본에서 수입하고 있다. 특히 순도 99% 이상의 고순도 불화수소는 90% 이상을 일본에 의존하고 있다.
SK머티리얼즈는 반도체, LCD 등의 제조공정에 사용되는 특수 가스를 생산하는 회사로 SK㈜가 2015년 인수해 49%의 지분을 갖고 있다. 지난 2001년 국내 최초로 삼불화질소를 국산화하는 데 성공한 바 있다.
